តម្លៃគោលដៅនៃសំណើមដែលទាក់ទងនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាត semiconductor (FAB) គឺប្រហែលពី 30 ទៅ 50% ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានកំហុសឆ្គងតូចចង្អៀត ±1% ដូចជានៅក្នុងតំបន់ lithography - ឬសូម្បីតែតិចជាងនៅក្នុងដំណើរការអ៊ុលត្រាវីយូឡេឆ្ងាយ (DUV) តំបន់ - ខណៈពេលដែលកន្លែងផ្សេងទៀតវាអាចត្រូវបានសម្រាកដល់± 5% ។
ដោយសារសំណើមដែលទាក់ទងមានកត្តាជាច្រើនដែលអាចកាត់បន្ថយដំណើរការទូទៅនៃបន្ទប់ស្អាត រួមមានៈ
1. ការលូតលាស់បាក់តេរី;
2. កម្រិតផាសុកភាពនៃសីតុណ្ហភាពបន្ទប់សម្រាប់បុគ្គលិក;
3. បន្ទុកអគ្គីសនីលេចឡើង;
4. ការ corrosion ដែក;
5. condensation ចំហាយទឹក;
6. ការរិចរិលនៃ lithography;
7. ការស្រូបយកទឹក។
បាក់តេរី និងសារធាតុពុលជីវសាស្រ្តផ្សេងទៀត (ផ្សិត មេរោគ ផ្សិត ផ្សិត) អាចលូតលាស់នៅក្នុងបរិស្ថានដែលមានសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 60% ។ សហគមន៍បាក់តេរីខ្លះអាចលូតលាស់នៅសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 30% ។ ក្រុមហ៊ុនជឿជាក់ថា សំណើមគួរតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុងចន្លោះពី 40% ទៅ 60% ដែលអាចកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃបាក់តេរី និងការឆ្លងមេរោគផ្លូវដង្ហើម។
សំណើមដែលទាក់ទងក្នុងចន្លោះពី 40% ទៅ 60% ក៏ជាកម្រិតមធ្យមសម្រាប់ការលួងលោមរបស់មនុស្សផងដែរ។ សំណើមច្រើនពេកអាចធ្វើអោយមនុស្សមានអារម្មណ៍ក្តៅខ្លួន ខណៈដែលសំណើមក្រោម 30% អាចធ្វើអោយមនុស្សមានអារម្មណ៍ស្ងួត ស្បែកប្រេះ ពិបាកដកដង្ហើម និងអារម្មណ៍មិនសប្បាយចិត្ត។
សំណើមខ្ពស់ពិតជាកាត់បន្ថយការប្រមូលផ្តុំនៃបន្ទុកអគ្គីសនីនៅលើផ្ទៃបន្ទប់សម្អាត ដែលជាលទ្ធផលដែលចង់បាន។ សំណើមទាបគឺល្អសម្រាប់ការប្រមូលផ្តុំបន្ទុក និងជាប្រភពបំផ្លាញសក្តានុពលនៃការឆក់អគ្គិសនី។ នៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងលើសពី 50% បន្ទុកអគ្គីសនីចាប់ផ្តើមរលាយយ៉ាងលឿន ប៉ុន្តែនៅពេលដែលសំណើមដែលទាក់ទងគឺតិចជាង 30% ពួកគេអាចបន្តបានយូរនៅលើអ៊ីសូឡង់ឬផ្ទៃដែលមិនមានដី។
សំណើមដែលទាក់ទងរវាង 35% ទៅ 40% អាចត្រូវបានប្រើជាការសម្រុះសម្រួលដែលពេញចិត្ត ហើយបន្ទប់សម្អាត semiconductor ជាទូទៅប្រើការត្រួតពិនិត្យបន្ថែមដើម្បីកំណត់ការប្រមូលផ្តុំនៃបន្ទុកអគ្គីសនី។
ល្បឿននៃប្រតិកម្មគីមីជាច្រើន រួមទាំងដំណើរការច្រេះនឹងកើនឡើងជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃសំណើមដែលទាក់ទង។ ផ្ទៃទាំងអស់ដែលប៉ះពាល់នឹងខ្យល់ជុំវិញបន្ទប់ស្អាតគឺរហ័ស។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ១៥-មីនា-២០២៤
ផ្ទះ
ផលិតផល
ទាក់ទងមកយើងខ្ញុំ
ព័ត៌មាន